Lumibright™UV领导的光发动机来自Optics Inc.的创新。功能紫外线阵列在MCPCB基板上粘合,可增强高电流密度操作的热性能。专门的主要光学元件是由熔融二氧化硅制成的非成像浓缩器,非常适合高功率紫外线通量。使用主动冷却,型号2400B-405型号可以从直径7.5 mm的透明孔(NA)发射出大于20瓦的瓦。2400B-505型号轻型发动机可从直径为5 mm的透明光圈以0.60 Na产生超过10瓦的辐射通量。Lumibright紫外线发动机可提供,其波长为365 nm,385 nm,395 nm和405 nm。对于光刻学,还可以使用435 nm的LED。

对于点固化应用,Lumibright UV领导的轻型发动机很容易将其搭配到紫外线的液体灯导向器。2400B-405和2400B-505的透明光圈和NA与典型液体光导向的直径和数值相匹配。不需要其他光学元件,因为可以简单地将灯光耦合到Lumibright紫外线发动机的光圈。

作为光刻的紫外线曝光来源,Lumibright紫外线发动机与传统的汞电弧灯相比具有经济和生态优势。经济利益源于紫外线LED更节能,尺寸较小,并且在很长的一生中保持一致的发射。窄带排放和即时功能限制供暖以降低暴露系统冷却成本。紫外线主导的稳定照明也消除了暴露系统的每日校准。汞灯需要几分钟才能进行热身,因此必须保留使用机械快门来控制曝光时间。生态益处源于能源效率,以及紫外线不含汞的事实,没有臭氧,也没有发出有害的“深紫外线”辐射。

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